Le criopompe sono realizzate secondo il principio della condensazione del gas, dell'adsorbimento criogenico, dell'intrappolamento criogenico o dell'aspirazione per ottenere il vuoto.
1. In base alla pressione di esercizio della pompa, può essere suddivisa in criopompa per intervallo di flusso continuo, criopompa per intervallo di flusso molecolare, di solito pompa di condensa più uno stadio di adsorbimento o uno stadio di cattura criogenica.
2. Secondo il metodo di raffreddamento, può essere suddiviso in criopompa del serbatoio di stoccaggio, criopompa evaporativa e criopompa di refrigerazione. Tra questi, la criopompa del serbatoio di stoccaggio e la criopompa evaporativa utilizzano entrambi refrigerante liquido per la refrigerazione, la superficie dello scudo di raffreddamento è comunemente usata azoto liquido e la superficie criogenica è comunemente usata elio liquido o elio gassoso per la refrigerazione. A causa dell'infiammabilità, dell'esplosività e del prezzo elevato dell'idrogeno liquido, è ancora usato raramente nonostante la sua entalpia di evaporazione più elevata rispetto all'elio liquido.
I frigoriferi a criopompa di refrigerazione sono comunemente usati da Gifford. Tipo McMahon (indicato come frigorifero G.M) e tipo Stirling (indicato come frigorifero St). Per le criopompe di refrigerazione con grande velocità di pompaggio, è possibile utilizzare un frigorifero a temperatura di elio liquido e una valvola J-T può essere impostata per formare un dispositivo di refrigerazione a circolazione liquida, e talvolta l'azoto liquido in un serbatoio di stoccaggio liquido o in una macchina per la liquefazione dell'azoto viene utilizzato per raffreddare il deflettore e la superficie dello scudo.
Le principali prestazioni della criopompa
(1) Superiore alla velocità di pompaggio, migliore di tutti gli altri tipi di pompe.
(2) Non ci sono restrizioni sulla forma, può essere immerso nella camera a vuoto o fissato sulla parete della camera a vuoto con una flangia.
(3) Può fornire un vuoto completamente pulito senza inquinamento al sistema del vuoto.
(4) Si può ottenere un grado di vuoto di pressione estremamente bassa, ad esempio inferiore a 10-12Pa. Inoltre, il funzionamento della criopompa è affidabile e quando la velocità di pompaggio è relativamente grande, il costo operativo del suo investimento è inferiore a quello della pompa per vuoto tradizionale ed è facile realizzare l'automazione.