Introduzione al principio di funzionamento e alle caratteristiche delle criopompe

Le criopompe sono anche ampiamente utilizzate nella vita di oggi. Molte persone potrebbero non aver sentito parlare di criopompe. Le criopompe sono un tipo di pompa per vuoto che utilizza gas di condensazione superficiale a bassa temperatura. Il vantaggio è che la potenza di pompaggio è la più grande. Oggi diamo un'occhiata alle pompe criogeniche Come funziona la pompa.

Il principio di funzionamento della criopompa è quello di utilizzare il gas per assorbire fisicamente sulla superficie a bassissima temperatura per ottenere l'effetto di esaurimento. È un metodo efficace e veloce per ottenere un vuoto pulito.

La criopompa può raggiungere un vuoto estremamente elevato (10-11Pa) e presenta i vantaggi di una velocità di scarico elevata, assenza di olio e direzione di installazione illimitata.

Sul primo stadio freddo della criopompa, vengono impostati un coperchio di schermatura e un deflettore e la temperatura viene mantenuta a 80K. Lo stadio di raffreddamento secondario è stato mantenuto a 15K e su di esso sono stati posizionati una copertura criogenica e un adsorbente a carbone attivo.

Il vapore acqueo viene solidificato sullo schermo 80K e sul deflettore 80K; azoto, ossigeno e argon sono solidificati sulla copertura criogenica 15K; idrogeno, elio e neon sono adsorbiti sull'adsorbente all'interno della copertura criogenica 15K. La criopompa può scaricare tutti i gas, ma se la quantità di gas adsorbito è troppo grande, la velocità di scarico sarà ridotta. In questo caso, è necessario riscaldare la criopompa, rilasciare il gas adsorbito e riutilizzarlo.

Caratteristiche di Cryopump

Una criopompa è una pompa per vuoto che utilizza una superficie a bassa temperatura per condensare il gas, nota anche come pompa di condensa. La criopompa può ottenere un vuoto pulito con la più alta velocità di pompaggio e la più bassa pressione finale, ed è ampiamente utilizzata nella ricerca e produzione di semiconduttori e circuiti integrati, nonché nella ricerca di fasci molecolari, apparecchiature di rivestimento sottovuoto, strumenti di analisi della superficie del vuoto, impiantatori ionici e dispositivi di simulazione spaziale, ecc. Aspetto.

Una criopompa è una pompa per vuoto che utilizza l'effetto di condensazione di una superficie di raffreddamento a temperatura molto bassa (≤77K) per rimuovere il gas dal sistema. Dal 1960, il pompaggio criogenico è stato sempre più ampiamente utilizzato nell'acquisizione e nell'applicazione del vuoto.

Una criopompa è una pompa per vuoto pulita. Poiché il mezzo criogenico è solo un refrigerante che raffredda la superficie di aspirazione della pompa e viene immagazzinato o fatto circolare in un contenitore chiuso, non ha alcun contatto con lo spazio del vuoto. Questa caratteristica è fondamentale per alcuni sistemi per vuoto che richiedono sistemi di vuoto puliti e oil-free.

Le criopompe possono raggiungere pressioni parziali molto basse e velocità di pompaggio molto elevate per la maggior parte dei gas. Quando la criopompa funziona in mezzo all'elio liquido, ha anche i vantaggi di una grande capacità di pompaggio effettiva e di un pompaggio non selettivo (ad eccezione dell'elio).

Le criopompe svolgono un ruolo vitale nella ricerca e nella produzione di semiconduttori e circuiti integrati, nella ricerca sui fasci molecolari e in altri campi. È una pompa per vuoto pulita. Quanto sopra riguarda il principio di funzionamento delle criopompe.