Una criopompa è una pompa a vuoto che utilizza una superficie a bassa temperatura per condensare il gas, nota anche come pompa della condensa. La criopompa può ottenere un vuoto pulito con la massima velocità di pompaggio e la pressione finale più bassa ed è ampiamente utilizzata nella ricerca e produzione di semiconduttori e circuiti integrati, nonché nella ricerca su fasci molecolari, apparecchiature di rivestimento sottovuoto, strumenti di analisi della superficie sottovuoto, ioni implanter e simulazione spaziale. dispositivi, ecc.
Principio di pompaggio La criopompa è dotata di una piastra fredda raffreddata a una temperatura molto bassa da elio liquido o da un frigorifero. Condensa il gas e mantiene la tensione di vapore della condensa al di sotto della pressione massima della pompa, in modo da ottenere l'effetto di pompaggio. Le funzioni principali del pompaggio a bassa temperatura sono la condensazione a bassa temperatura, l'adsorbimento a bassa temperatura e la cattura a bassa temperatura.
criopompa
① Condensazione a bassa temperatura: le molecole di gas si condensano sulla superficie della piastra fredda o sullo strato di gas condensato e la pressione di equilibrio è sostanzialmente uguale alla pressione di vapore della condensa. Quando si pompa idrogeno, la temperatura della piastra fredda è inferiore.
②Adsorbimento a bassa temperatura: le molecole di gas vengono adsorbite sulla superficie dell'adsorbente rivestita sulla piastra fredda con uno spessore di uno strato molecolare. La pressione di equilibrio per l'adsorbimento è molto inferiore alla pressione di vapore alla stessa temperatura.
③Trapping criogenico: le molecole di gas che non possono essere condensate alla temperatura di estrazione vengono sepolte e adsorbite dallo strato crescente di gas condensabile.