In base al metodo di alimentazione del mezzo, le criopompe sono suddivise nei seguenti tipi:
Pompa criogenica del serbatoio di stoccaggio: il mezzo a bassa temperatura (elio liquido) viene iniettato direttamente nel serbatoio di stoccaggio nella pompa per condensare il gas per raggiungere lo scopo del pompaggio.
I vantaggi della criopompa del serbatoio di stoccaggio sono che la pompa è di piccole dimensioni, nessuna vibrazione, nessun rumore e facile da usare.
Lo svantaggio della pompa criogenica del serbatoio di accumulo è che il costo di esercizio è elevato, il tempo di utilizzo di ogni riempimento del mezzo a bassa temperatura è breve e il sistema del vuoto che deve funzionare continuamente per lungo tempo deve rifornire periodicamente il funzionamento medio ed è limitato dalle condizioni di alimentazione del mezzo a bassa temperatura.
Criopompa di processo: il tubo di raffreddamento del criopanel nella pompa è collegato all'espansore di refrigerazione e il mezzo criogenico (gas elio) viene fornito alla criopompa attraverso la tubazione esterna, assorbe il calore del criopanel e quindi ritorna al compressore di refrigerazione per formano un ciclo chiuso. Il volume della pompa è enorme, la tubazione è complicata e la perdita di raffreddamento della tubazione è elevata.
Il vantaggio della criopompa di processo è che ha una grande potenza di raffreddamento ed è più adatta per rimuovere il volume atmosferico o una grande camera a vuoto.
Criopompa per piccoli frigoriferi: La criopompa per piccoli frigoriferi a ciclo chiuso è composta da un corpo pompa a bassa temperatura, un criopannello di estrazione dell'aria, una piastra di schermatura dalle radiazioni, un frigorifero e un compressore.
La più grande differenza tra la pompa criogenica del piccolo frigorifero e la pompa criogenica del processo è che la prima e la seconda testa fredda del frigorifero sono direttamente collegate allo schermo di radiazione e alla piastra fredda e il flusso nella tubazione di collegamento tra il frigorifero frigorifero e il compressore è a temperatura normale, alta (o bassa) temperatura. ) mezzo di gas pressurizzato, non vi è alcun problema di trasporto del mezzo a bassa temperatura e presenta i vantaggi della criopompa di processo e della criopompa del serbatoio di stoccaggio. Attualmente è una pompa per vuoto ultra-alto pulita ideale.
Le criopompe per piccoli frigoriferi sono ampiamente utilizzate nella preparazione di film sottili, nella tecnologia microelettronica, nella fisica delle alte energie, nelle apparecchiature per piccoli anelli e in altri campi industriali.